“粗顆粒計(jì)數(shù)器”是一種完全不同的測量設(shè)備。

一種可以測量粘附粉塵而不是漂浮粉塵的專用測量儀器。
對(duì)10μm以上的粗大顆粒進(jìn)行分類計(jì)數(shù)！

你有這方面的問題嗎？

• 即使在無塵室內(nèi)工作，異物的附著也不會(huì)減少。
• 雖然它是用粒子計(jì)數(shù)器管理的，但它不能與缺陷相關(guān)聯(lián)。
• 我想創(chuàng)造一個(gè)干凈的環(huán)境，但我不知道如何管理它。
• 衣服上附著的異物帶入對(duì)策困難重重。

作為以粗大粒子（10μm以上）對(duì)策、粉塵、異物對(duì)策為目標(biāo)的潔凈環(huán)境構(gòu)建指標(biāo)，落塵測量非常有效。

點(diǎn)擊此處查看 2021 年 2 月頒布的 ISO14644-17 中描述的 PDR 和 PDRL 之間的關(guān)系 

符合ISO14644-9（表面清潔標(biāo)準(zhǔn)）。單擊此處查看“落塵計(jì)數(shù)器”以調(diào)查附著的灰塵 

什么是落塵計(jì)數(shù)器？

這是一種特殊的測量儀器，可以測量落下的灰塵而不是浮塵。對(duì)10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)。潔凈室中粘附在產(chǎn)品上并引起粉塵和異物缺陷的顆粒，很多都是落塵，其特點(diǎn)是落下速度非常緩慢，并且會(huì)不斷堆積。

落塵計(jì)數(shù)器是利用樣品收集盤（4英寸硅片）對(duì)落在其上的粉塵進(jìn)行分類計(jì)數(shù)的裝置。測量結(jié)果可以在 PC 上顯示和保存。由于采樣是在硅晶圓上進(jìn)行的，因此可以在放置晶圓的任何地方進(jìn)行評(píng)估。

*硅晶圓是一種半導(dǎo)體基板，是一種表面平整度和耐熱性**的圓盤狀樣板。

 本產(chǎn)品是專門用于對(duì)硅片樣品中10μm～100μm的粗顆粒進(jìn)行分類計(jì)數(shù)的測量裝置。
由于形狀和重量，大于 100 μm 的顆粒不適用于硅片樣品。
在這種情況下，請嘗試“Dusker” 。

落塵計(jì)數(shù)器陣容

*3) 可選類別中設(shè)置的閾值是從校準(zhǔn)曲線中獲得的值，不能保證計(jì)數(shù)效率。
*4) 只保證4英寸區(qū)域的計(jì)數(shù)效率，不能保證2英寸區(qū)域的計(jì)數(shù)效率，是有限的。

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