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重慶強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)日本日立HITACHI日立高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800

日期：2025-02-06 02:55
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摘要：重慶強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)日本日立HITACHI日立高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800 重慶強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)日本日立HITACHI日立高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800
日本日立HITACHI高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800（CD-SEM）  的詳細(xì)介紹


  • 日本日立HITACHI高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800（CD-SEM） 搭載日立***技術(shù)的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圓的CD測(cè)量，提供高解析度的SEM成像，更高的測(cè)量精度和快速自動(dòng)化操作，將有助于提高客戶現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力。此外用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作處理自動(dòng)搬送兩種不同尺寸的晶圓。 日立計(jì)劃支持對(duì)應(yīng)碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）等各種材料的晶圓，以滿足客戶對(duì)半導(dǎo)體電子器件生產(chǎn)的多樣化需求。 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高解析度FEB測(cè)量裝置CS4800（CD-SEM）
  • 考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
  • 通過(guò)**設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，搭載了高精度測(cè)量技術(shù)和*新的計(jì)量應(yīng)用。
  • 通過(guò)光學(xué)軸自動(dòng)化調(diào)整，減少了由于操作員熟練度而造成的測(cè)量偏差。
  • 更高的圖像處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)Recipe自動(dòng)測(cè)量并提高產(chǎn)能。
  • 新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。
*1
GUI (Graphic User Interface):使用計(jì)算機(jī)的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。

測(cè)量精度 1nm（3σ）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
晶圓尺寸 直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動(dòng)裝片裝置 2個(gè)
設(shè)備尺寸（主體） 1180（寬）× 2500（長(zhǎng)）× 1990（高）毫米

粵公網(wǎng)安備 51012402000291號(hào)