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晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
日期：2025-02-06 02:32
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摘要：晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
晶圓背面冷卻系統(tǒng)GR-300系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列
概要
對那些被靜電卡盤系統(tǒng)固定位置的硅片，GR-300系列產(chǎn)品可以控制對硅片背面進(jìn)行冷卻的氣體流量。適合使用氦氣的冷卻系統(tǒng)和使用氬氣的氣體控制硅片覆蓋。
另外可選擇配置的質(zhì)量流量傳感器也可以用來監(jiān)測氣體流量。
特征
- 更加穩(wěn)定和準(zhǔn)確的壓力控制
-
質(zhì)量流量傳感器 （可選配）
-
可以配置各種類型的接頭
-
符合RoHS的環(huán)保要求
制造: HORIBA STEC
