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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：UR421-T
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
特征 可以將通過熱化CVD、蝕刻等在高溫區(qū)域 產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。 UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。 由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機(jī)，因此非常**。 瞬時(shí)停電對(duì)策：采取 1000msec以內(nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。 優(yōu)異的耐蝕性 主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時(shí)減少泵內(nèi)部的腐蝕。 通訊功能： 可讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
詳情介紹：
模型 UR421-T UR600 UR1200 UR1800 UR3601-TT
使用的泵 DRP
UR421-T
UR90 UR90 UR180 UR421-T
MBP ―――― PRC-006A PRC-012A 中國-018A PRC-036C-T
*大排氣速度 410 米3 / 小時(shí)
（6833 升 / 分鐘） 		653 米3 / 小時(shí)
（10883 升 / 分鐘） 		1012 米3 / 小時(shí)
（16867 升 / 分鐘） 		1701 米3 / 小時(shí)
（28350 升 / 分鐘） 		2700 米3 / 小時(shí)
（45000 升 / 分鐘）
達(dá)到壓力
5.0帕
*大進(jìn)氣壓力
（進(jìn)氣壓力） 		大氣壓*1
*大排氣口壓力
（排氣壓力） 		1～大氣壓Pa
進(jìn)氣口（CE規(guī)格） VG100
VG80 (NW80)
VG100 (NW100)
VG150 (NW100)

VG150

排氣口 VG50
NW40
NW50
大量的 415 公斤 370 公斤 403 公斤 553 公斤 720 公斤
電力 三相 180-240 VAC / 
380-440 VAC 
(50/60 Hz) 		200 伏交流電（50/60 赫茲）/220 伏交流電（60 赫茲） 180-240 VAC / 
380-440 VAC 
(50/60 Hz)
當(dāng)前值 常規(guī)時(shí)間 23 A（200V 時(shí)） 16.4 A（200V 時(shí)） 18.9 A（200V 時(shí)） 29.2 A (200V) 
20.5 A (400V) 		39.8 A（200V 時(shí)）
20.5A（400V 時(shí)）
*大值 52.5 A（200V 時(shí)） 17.3 A（200V 時(shí)） 22.4 A（200V 時(shí)） 34.9 A（200V 時(shí)）
40.5A（400V 時(shí)） 		68.3 A（200V 時(shí)）
40.5A（400V 時(shí)）
臨時(shí)冷卻水壓力 0.2～0.5Mpa 0.1～0.3Mpa 0.2～0.5Mpa
冷卻水進(jìn)/出口壓差 > 0.2 兆帕 > 0.1 兆帕 > 0.1 兆帕 > 0.1 兆帕 > 0.2 兆帕
冷卻水流量 > 5.0升/分鐘
吹掃氣體 初級(jí)壓力 0.1～0.5Mpa
二次壓力 0.05 ~ 0.1 兆帕
N 2吹掃 軸 5 SLM
氣漲 0 ~ 195 SLM 0 ~ 45 SLM 0 ~ 195 SLM 0 ~ 195 SLM
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