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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本本多石英振動(dòng)體高頻率清洗機(jī) W-357-1MQG-SKC

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
詳情介紹：

下一代清洗技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低損害和高清潔度

2006年，石英振動(dòng)體超聲清洗裝置投入實(shí)際使用。
在這種方法中，通過(guò)在振動(dòng)體上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學(xué)品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒(méi)有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動(dòng)體有不同的形狀，以適應(yīng)不同的用途，能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等

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